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Fakultät für Ingenieurwissenschaften

Lehrstuhl für Mess- und Regeltechnik

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Reinraumtechnik

Der Lehrstuhl verfügt seit seiner Gründung über einen Reinraum der Klasse 1000. Dieser wird insbesondere genutzt um Sensorelemente und Mikrosysteme auf Basis der Dünnschichttechnologie, besonders mit piezoelektrischen Werkstoffen (Surface-Acoustic-Wave-[SAW-]Technologie) herzustellen. Die Ausstattung umfasst:

Dünnschichttechnikum

  • Schichtabscheidung (additive Techniken)
    • Thermisches Aufdampfen
    • Elektronenstrahlverdampfen
    • Ionenstrahlbeschichten
  • Schichtenstrukturierung
    • Waferreinigung (Nassbank mit Ultraschallbad, Rinser Dryer)
    • Kontakt- oder Abstandslithographie für Strukturen bis herab zu 2 µm (Mask Aligner des Lehrstuhls für Funktionsmaterialien)
    • Elektronenstrahl-Lithographie für Strukturen bis unter 100 nm (Nanotechnologie)
  • Schichtentfernung, Ätzen (subtraktive Techniken)
    • Nassätzen
    • Ionenstrahlätzen
  • Thermische Behandlung
    • Oxidation
    • Pre-, Postbake

Neben dem eigentlichen Reinraum verfügt der Lehrstuhl über diverse Austattungen und Know-How zur Weiterverarbeitung und zur Prüfung von im Reinraum produzierten Bauteilen.

Aufbau- und Verbindungstechnik

  • Wafersäge
  • Gold-Dünndrahtbonder (Ball-Wedge)

Nichtelektrische Prüfung

  • Lichtmikroskopie bis 5000-fache Vergrößerung mit digitaler Bildverarbeitung
    • Bildzusammensetzung (Stichting)
    • 3D-Betrachtung (und Tiefenschärfezusammensetzung)
    • Hoher Dynamikbereich (HDR)
  • Rasterkraftmikroskop (AFM)
  • Klimakammer für Umweltverträglichkeitstests
  • Gasmischanlagen, Öfen

Elektrische Prüfung

  • Laserakustikmessplatz zur Charakterisierung von Dünnschichten

Verantwortlich für die Redaktion: Prof. Dr.-Ing. Gerhard Fischerauer

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